氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見故障的處理
2024.01.28
1.氦質(zhì)譜檢漏儀采用便攜式設(shè)計
2.設(shè)備外型美觀小巧
3.氦質(zhì)譜檢漏儀采用液晶觸摸屏設(shè)計
4.有通訊接口
5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。
逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。
這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進(jìn)氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。
